克日，上海所初中科院上海光机所周常河课题组运用高密度等离子体刻蚀配置装备部署、光机管石高功光器半导体光刻工艺技术以及激光全息技术，次接睁开出石英玻璃深入蚀技术，英玻乐成地在石英玻璃基底上加工出优化高层度的璃研亚波长光栅，试验证实其具备很高的制出振分资讯偏振阻止度以及衍射功能，黑白常优异偏振分光器件。行业该器件具备运用寿命长，上海所初不易霉变，光机管石高功光器晃动、次接坚贞，英玻热晃动性好等清晰短处。璃研本项使命已经恳求缔造专利，制出振分资讯并在全副刊物《光学通讯》(Optics Letters 32,行业 1299)上宣告。

    偏振分光器是上海所初光学中的根基器件，普遍运用于光学试验以及光学仪器。所谓的偏振分光，便是把差距偏振的光在空间上分成差距的倾向。个别的实现措施有双折射晶体、偏振多层膜以及高份子膜三种，但双折射晶体价钱高尚，偏振多层膜工艺重大、老本高，而高份子膜有罗致斲丧大等缺少之处。接管石英玻璃研制出偏振分光器，是有别于这些道路的新措施。石英玻璃是各向异性质料，对于差距的偏振光展现出同样的功能，这个技术的怪异之处在于能将艰深的各向异性的石英质料酿成具备优异偏振分光功能的器件，同时石英玻璃质料具备很宽的透光光谱，热缩短系数小、老本高尚，因此，深入蚀亚波长石英光栅器件有很好的运用远景。